走査プローブ顕微鏡
設置場所：実験棟106-108
走査プローブ顕微鏡（設備ID：MS-204）
| メーカー | Bruker |
|---|
Bruker Dimension XR Icon NanoElectrical （写真右上）
形状測定、機械特性測定、電気特性測定、ケルビンプローブ測定に特化した走査プローブ顕微鏡を用いた共同研究を行います。
Bruker Dimension XR Icon NanoElectochemical （写真右下）
電気化学測定に特化した走査プローブ顕微鏡を用いた共同研究を行います。
| 主な仕様 | |
|---|---|
| ①NanoElectrical | |
| 型式 | Bruker Dimension XR Icon NanoElectrical |
| 導入年度 | 令和元年度 |
| 走査範囲 | XY：> 85 µm, Z：> 9 µm |
| ノイズフロア | 0.035 nm以下 |
| 試料サイズ | 最大直径200 mm, 厚さ15 mm |
| 自動ステージ | 駆動範囲:180 x 150 mm 繰返し精度：3 µm |
| 高解像CCDカメラ | 5メガピクセル （デジタルズーム） |
| 測定モード | 形状測定、機械特性測定（位相モード、水平力顕微鏡モード、フォースカーブモード、ピークフォースマッピングモード等）、電気特性測定、ケルビンプローブ測定、光照射、磁場印加 |
| space | |
| ②NanoElectochemical | |
| 型式 | Bruker Dimension XR Icon NanoElectochemical |
| 導入年度 | 令和元年度 |
| 走査範囲 | XY：> 85 µm, Z：> 9 µm |
| ノイズフロア | 0.035 nm以下 |
| 試料サイズ | 最大直径200 mm, 厚さ15 mm |
| 自動ステージ | 駆動範囲:180 x 150 mm 繰返し精度：3 µm |
| 高解像CCDカメラ | 5メガピクセル （デジタルズーム） |
| 測定モード | 形状測定、機械特性測定（位相モード、水平力顕微鏡モード、フォースカーブモード、ピークフォースマッピングモード等）、電気化学原子間力顕微鏡動作、走査型電気化学顕微鏡動作 |
| 付属装置 | 密閉型大気非曝露測定用ボックス |
| 支援形態/料金 | |||
|---|---|---|---|
| 大学官公庁 | 協力研究 | 無料 | 成果公開 |
| 施設利用 | なし | ||
| 技術代行 | |||
| 民間 | 施設利用 | 要相談 | |
| 技術代行 | |||
| 所内 | 施設利用 | 無料（共同研究として） | |
| 民間 | 施設利用 | 要相談 | 成果非公開 |
| 技術代行 | |||
■担当
横山利彦センター長
湊丈俊主任研究員［ minato@ims.ac.jp ］
上田正主任技術員
杉本敏樹准教授
0564-55-7330（湊）
湊丈俊主任研究員［ minato@ims.ac.jp ］
上田正主任技術員
杉本敏樹准教授
0564-55-7330（湊）