電子分光
設置場所:実験棟216
機能性材料バンド構造顕微分析システム
(設備ID:MS-212)
静電半球型アナライザーを用いた機能性材料の価電子バンド構造測定システム。ディフレクターを使用することで2次元波数空間マッピングを行うことが可能。薄膜作製用真空チェンバー、試料表面処理チェンバー(電子衝撃加熱、通電加熱、Ar+スパッタが可能)、電子線回折装置、劈開機構を利用することができるため、 様々な機能性材料の測定に対応。
主な仕様 | |
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光電子分光装置(光電子分析器、真空紫外光源、試料冷却機構、真空チェンバー) | |
光電子分析器 エネルギー分解能1meV以下 | |
角度精度0.1度以下、空間分解能 10ミクロン以下 | |
真空紫外光源 希ガス共鳴線(主として、21.218 eV, 40.814 eV) | |
試料冷却機能 温度範囲 8-300K | |
真空チェンバー 測定槽真空度7x10-9Pa以下 |
支援形態/料金 | |||
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大学官公庁 | 協力研究 | 無料 | 成果公開 |
施設利用 | なし | ||
技術代行 | |||
民間 | 施設利用 | 5,600円/時間 | |
技術代行 | なし | ||
所内 | 施設利用 | 無料 | |
民間 | 施設利用 | 11,100円/時間 | 成果非公開 |
技術代行 | なし |
■担当
解良聡教授
田中清尚准教授[k-tanaka@ims.ac.jp]
福谷圭祐助教
0564-55-7203
田中清尚准教授[k-tanaka@ims.ac.jp]
福谷圭祐助教
0564-55-7203