試料にX線を照射し、回折・反射・散乱されたX線を観測することで、化合物の同定・定量・配向性、薄膜の膜厚・粗さ、粒径・空孔径分布などの情報が得られる。本装置では、各種ミラー・ステージ・オプションにより、様々な測定に対応可能である。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　※初めて申請される方は、事前に担当者までお問い合わせ下さい。