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マスクレス露光装置(DL-1000/IMC)段差計付き

マスクレス露光装置は、任意の形状をフォトマスクなしで直接描画する装置です。光源は405nmLEDで、露光範囲100㎜×100㎜、最少線幅1μmの描画が可能です。段差計は、150㎜までの領域でステッチングなしで測定ができます。その他にも、精密温湿度調整付きのイエロークリーンブースは、フォトリソグラフィーに関する一連の作業(基板洗浄、各種レジスト塗布、露光、現像、アッシング、エッチング)に利用できます。

主な仕様

マスクレス露光装置(ナノシステムソリューションズ  DL-1000/IMC)
段差計(KLA Tencor P7)
精密温度調整機能付クリーンブース
スピンコーター(ミカサ社製MS-A100)

支援形態/料金

大学官公庁 協力研究 成果公開
施設利用 無料
技術代行
民間 施設利用 3100円/時間
技術代行
所内 施設利用 消耗品実費
民間 施設利用 6100円/時間 成果非公開
技術代行
技術支援(1時間あたり) 技術開発 13200円 成果公開の場合は
料金が1/2
設計製作 10800円
技術補助 5600円

■担当

山本浩史室長
近藤聖彦主任技師 [kondou@ims.ac.jp ]
高田紀子技術員[takada@ims.ac.jp]
木村幸代技術員 [s-kimura@ims.ac.jp ]
石川晶子技術支援員
0564-55-7492(高田、木村)
代表[ micro@ims.ac.jp ]