表面分析
設置場所：山手4号館103
電子プローブマイクロアナライザー（設備ID：MS-236）（2024年1月1日より外部共用を開始しました。）
| メーカー | 日本電子 |
|---|---|
| 型 式 | JXA-8230、SS-94000SXES 日本電子製 JXA-8230 軟X線分光器（SXES）搭載 |
| 導入年度 | 令和5年度 |
50 eVまでの低エネルギーを測定できる軟X線分光器（SXES）を搭載した電子プローブマイクロアナライザ（EPMA）。
| 主な仕様 | |
|---|---|
| 電子銃 | LaB6,W電子銃 |
| 加速電圧 | 0.2～30 kV（0.1 kVステップ） |
| 照射電流 | 1 pA～10 μA |
| EDS 検出範囲 | B～U |
| WDS検出範囲 | Be～U |
| SXES取得エネルギー範囲 | 50-170 eV（回折格子JS50XL）70-210 eV（回折格子JS200N） |
| 試料サイズ | 100 mm×100 mm×50 mmHまで |
| 検出器 | 二次電子検出器、WDS検出器、SXES検出器、EDS検出器 |
| 支援形態/料金 | |||
|---|---|---|---|
| 大学官公庁 | 協力研究 | なし | 成果公開 |
| 施設利用 | 無料 | ||
| 技術代行 | なし | ||
| 民間 | 施設利用 | 3,200円/時間 | |
| 技術代行 | なし | ||
| 所内 | 施設利用 | 無料 | |
| 民間 | 施設利用 | 6,400円/時間 | 成果非公開 |
| 技術代行 | なし | ||
■担当
横山利彦センター長
平野佳穂技術員 [ hirano@ims.ac.jp ]
平野佳穂技術員 [ hirano@ims.ac.jp ]
今井弓子技術支援員
0564-55-7428(平野)
0564-55-7428(平野)