電子顕微鏡

設置場所:山手3号館 1階 TEM室

電界放出形透過電子顕微鏡

メーカーJEOL
型式JEM-2100F
導入年度平成15年度

高輝度で高い干渉性の電子線が得られるフィールドエミッション電子銃(FEG)を搭載した電子顕微鏡。ナノスケールオーダーの超高分解能の像観察や分析が可能。エネルギー分散型 X線分析装置(EDS)による微小部の元素分析、組成マップを測定が可能。STEM機能により走査透過像測定が可能。

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主な仕様
電子銃フィールドエミッション
加速電圧200 kV
照射電流0.23nm(粒子像)、0.1 nm(格子像)
倍率X2,000~X1,500,000
試料3mmφ以内
支援形態/料金
大学官公庁
協力研究なし成果公開
施設利用無料
技術代行なし
民間
施設利用 4,000円/時間
技術代行なし
所内施設利用無料
民間施設利用8,000円/時間成果非公開
技術代行なし

■担当

横山利彦センター長
伊木志成子特任専門員[ ishina@ims.ac.jp ]
上田正主任技術員
売市幹大技術員
0564-55-7428(伊木)