電子顕微鏡

設置場所:実験棟 B09

低真空分析走査電子顕微鏡

メーカー日立ハイテクノロジーズ、ブルカー・エイエックスエス
型 式SU6600、QUANTAX XFlash 5060FQ+XFlash6|10 コンバインシステム
導入年度平成25年度

幅広い試料に対する、SEM 観察と EDS 元素分析の環境を提供します。SEM 本体は、日立ハイテクノロジーズ社製 SU6600。10~300Pa の低真空観察に対応し、絶縁性試料を導電処理なしで観察可能です。分解能は、高真空 1.2nm(30kV)、低真空 3.0nm(30kV)。EDS 分析装置は、 BrukerAXS 社製 XFlash5060FQ 及び XFlash6|10。表面凹 凸の影ができにくく高感度な EDS 検出器を搭載しています。温度を-20~50°C程度で変えられるステージも利用可能ですので、ご相談下さい。

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主な仕様
電子銃Zr/Wショットキーエミッション形
加速電圧0.5〜30 kV
照射電流1 pA〜200 nA
倍率10〜600,000 倍
像分解能 1.2 nm: 30 kV、高真空モード(< 10-3 Pa)
3.0 nm: 30 kV、低真空モード(60 Pa)
低真空範囲最大直径2インチ
EDS 検出範囲10〜300 Pa
試料サイズ最大直径 150 mm
検出器 二次電子検出器、低真空用二次電子検出器、
反射電子検出器、透過電子検出器
試料温度制御-20〜50 ℃(オプションのMK3形クールステージ装着時のみ)
支援形態/料金
大学官公庁
協力研究なし成果公開
施設利用無料
技術代行
民間
施設利用 3,200円/時間
技術代行なし
所内施設利用無料
民間施設利用6,400円/時間成果非公開
技術代行なし

■担当

横山利彦センター長
石山修特任研究員 [ o-ishiyama@ims.ac.jp ]
上田正主任技術員
0564-55-7457(石山)