マイクロストラクチャー

設置場所:装置開発室

マスクレス露光装置(DL-1000/IMC)段差計付き

マスクレス露光装置は、任意の形状をフォトマスクなしで直接描画する装置です。光源は405nmLEDで、露光範囲100㎜×100㎜、最少線幅1μmの描画が可能です。段差計は、150㎜までの領域でステッチングなしで測定ができます。その他にも、精密温湿度調整付きのイエロークリーンブースは、フォトリソグラフィーに関する一連の作業(基板洗浄、各種レジスト塗布、露光、現像、アッシング、エッチング)に利用できます。

利用可能機器
マスクレス露光装置(ナノシステムソリューションズ  DL-1000/IMC)
段差計(KLA Tencor P7)
精密温度調整機能付クリーンブース
スピンコーター(ミカサ社製MS-A100)
支援形態/料金
大学官公庁
協力研究なし成果公開
施設利用無料
技術代行なし
民間
施設利用3,100円/時間
技術代行なし
所内施設利用消耗品実費
民間施設利用6,100円/時間成果非公開
技術代行なし
技術支援技術開発13,200円/時間成果非公開
(成果公開の場合は
料金が1/2)
設計製作10,800円/時間
技術補助5,600円/時間

■担当

山本浩史室長
近藤聖彦主任技師 [ kondou@ims.ac.jp ]
高田紀子技術員 [ takada@ims.ac.jp ]
木村幸代技術員 [ s-kimura@ims.ac.jp ]
石川晶子技術支援員
0564-55-7492(高田、木村)
代表[ micro@ims.ac.jp ]