表面分析

設置場所:山手4号館103

電子プローブマイクロアナライザー(設備ID:MS-236)(2024年1月1日より外部共用を開始しました。)

メーカー日本電子
型 式JXA-8230、SS-94000SXES
日本電子製 JXA-8230 軟X線分光器(SXES)搭載
導入年度令和5年度

50 eVまでの低エネルギーを測定できる軟X線分光器(SXES)を搭載した電子プローブマイクロアナライザ(EPMA)。

JXA-8230
分光器(SS-94000SXES)
分光器(SS-94000SXES)
主な仕様
電子銃LaB6,W電子銃
加速電圧0.2~30 kV(0.1 kVステップ)
照射電流1 pA~10 μA
EDS 検出範囲B~U
WDS検出範囲Be~U
SXES取得エネルギー範囲50-170 eV(回折格子JS50XL)70-210 eV(回折格子JS200N)
試料サイズ100 mm×100 mm×50 mmHまで
検出器二次電子検出器、WDS検出器、SXES検出器、EDS検出器
支援形態/料金
大学官公庁
協力研究なし成果公開
施設利用無料
技術代行なし
民間
施設利用 3,200円/時間
技術代行なし
所内施設利用無料
民間施設利用6,400円/時間成果非公開
技術代行なし

■担当

横山利彦センター長
平野佳穂技術員 [ hirano@ims.ac.jp ]
0564-55-7428(平野)
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