マイクロストラクチャー

設置場所:装置開発室

電子ビーム描画装置

メーカー(株)エリオニクス製
型式ELS-G100

データ提供の可否 可の場合データ情報の内容を簡単に提供できるデータは加速電圧、ビーム電流、エリアドーズ(レジスト感度)になります。 

主な仕様
最大加速電圧:100KV、最小ビーム径:1.8m、最小描画線幅:6nm
支援形態/料金
大学官公庁
協力研究なし成果公開
施設利用無料
技術代行なし
民間
施設利用11,700円/時間
技術代行なし
所内施設利用無料
民間施設利用23,400円/時間成果非公開
技術代行なし
技術支援技術開発13,200円/時間成果非公開
(成果公開の場合は
料金が1/2)
設計製作10,800円/時間
技術補助5,600円/時間
■担当
山本浩史室長
近藤聖彦主任技師 [kondou@ims.ac.jp ]
高田紀子技術員[takada@ims.ac.jp]
木村幸代技術員 [s-kimura@ims.ac.jp ]
石川晶子技術支援員
0564-55-7493(高田、木村)
代表[ micro@ims.ac.jp ]