マイクロストラクチャー
設置場所：装置開発室
電子ビーム描画装置（設備ID：MS-103）
| メーカー | (株）エリオニクス製 |
|---|---|
| 型式 | ELS-G100 |
データ提供の可否 可の場合データ情報の内容を簡単に提供できるデータは加速電圧、ビーム電流、エリアドーズ（レジスト感度）になります。
| 主な仕様 | |
|---|---|
| 最大加速電圧:100KV、最小ビーム径：1.8m、最小描画線幅：6nm |
| 支援形態/料金 | |||
|---|---|---|---|
| 大学官公庁 | 協力研究 | なし | 成果公開 |
| 施設利用 | 無料 | ||
| 技術代行 | なし | ||
| 民間 | 施設利用 | 23,400円/時間 2023年12月26日改訂 |
|
| 技術代行 | なし | ||
| 所内 | 施設利用 | 無料 | |
| 民間 | 施設利用 | 23,400円/時間 | 成果非公開 |
| 技術代行 | なし | ||
| 技術支援 | 技術開発 | 13,200円/時間 | 成果非公開 （成果公開の場合は 料金が１/２） |
| 設計製作 | 10,800円/時間 | ||
| 技術補助 | 5,600円/時間 | ||
■担当
山本浩史室長
近藤聖彦主任技師 [kondou@ims.ac.jp ]
高田紀子技術員［takada@ims.ac.jp］
木村幸代技術員 [s-kimura@ims.ac.jp ]
石川晶子技術支援員
0564-55-7493（高田、木村）
代表［ micro@ims.ac.jp ］
近藤聖彦主任技師 [kondou@ims.ac.jp ]
高田紀子技術員［takada@ims.ac.jp］
木村幸代技術員 [s-kimura@ims.ac.jp ]
石川晶子技術支援員
0564-55-7493（高田、木村）
代表［ micro@ims.ac.jp ］