電子分光

設置場所:実験棟216

機能性材料バンド構造顕微分析システム

静電半球型アナライザーを用いた機能性材料の価電子バンド構造測定システム。ディフレクターを使用することで2次元波数空間マッピングを行うことが可能。薄膜作製用真空チェンバー、試料表面処理チェンバー(電子衝撃加熱、通電加熱、Ar+スパッタが可能)、電子線回折装置、劈開機構を利用することができるため、 様々な機能性材料の測定に対応。

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主な仕様
 光電子分光装置(光電子分析器、真空紫外光源、試料冷却機構、真空チェンバー)
 光電子分析器 エネルギー分解能1meV以下
 角度精度0.1度以下、空間分解能 10ミクロン以下
 真空紫外光源 希ガス共鳴線(主として、21.218 eV, 40.814 eV)
 試料冷却機能 温度範囲 8-300K
 真空チェンバー 測定槽真空度7x10-9Pa以下
支援形態/料金
大学官公庁
協力研究無料成果公開
施設利用なし
技術代行
民間
施設利用 5,600円/時間
技術代行なし
所内施設利用無料
民間施設利用11,100円/時間成果非公開
技術代行なし

■担当

解良聡教授
田中清尚准教授[k-tanaka@ims.ac.jp]
福谷圭祐助教
0564-55-7203