マイクロストラクチャー

設置場所:装置開発室

3次元光学プロファイラーシステム (Nexview)

3次元光学プロファイラーシステム(ZYGO Nexview)は、非接触で表面の3次元形状測定、表面粗さ測定を行う装置です。つなぎ合わせ機能により□46.5㎜範囲の3次元形状測定や、Ra0.1nm以下の超精密研磨面の測定、透明膜の厚さ測定(1μm以上)などができます。

X-Yステージ可動範囲200㎜×200㎜
Z軸可動範囲100㎜

主な仕様
精密温度調整機能付クリーンブース
支援形態/料金
大学官公庁
協力研究なし成果公開
施設利用無料
技術代行なし
民間
施設利用4,400円/時間
技術代行なし
所内施設利用消耗品実費
民間施設利用8,700円/時間成果非公開
技術代行なし
技術支援技術開発13,200円/時間成果非公開
(成果公開の場合は
料金が1/2)
設計製作10,800円/時間
技術補助5,600円/時間

■担当

山本浩史室長
近藤聖彦主任技師[ kondou@ims.ac.jp ]
菊地拓郎技術員 [ t-kikuchi@ims.ac.jp ]
木村幸代技術員
0564-55-7213(菊地、近藤)
代表[ micro@ims.ac.jp ]