電子顕微鏡

設置場所:山手3号館1階TEM室

設備一覧に戻る

電界放出形透過電子顕微鏡

メーカー JEOL
型式 JEM-2100F
導入年度 平成15年度

高輝度で高い干渉性の電子線が得られるフィールドエミッション電子銃(FEG)を搭載した電子顕微鏡。ナノスケールオーダーの超高分解能の像観察や分析が可能。エネルギー分散型 X線分析装置(EDS)による微小部の元素分析、組成マップを測定が可能。STEM機能により走査透過像測定が可能。

主な仕様

電子銃 フィールドエミッション
加速電圧 200 kV
照射電流 0.23nm(粒子像)、0.1 nm(格子像)
倍率 X2,000~X1,500,000
試料 3mmφ以内

支援形態/料金

大学官公庁 協力研究 成果公開
施設利用 無料
技術代行 要相談
民間 施設利用 4000円/時間
技術代行
所内 施設利用 無料
民間 施設利用 8000円/時間 成果非公開
技術代行
技術支援 なし

■担当

横山利彦センター長
伊木志成子特任専門員[ ishina@ims.ac.jp ]
上田正技術員
売市幹大技術員
0564-55-7428(伊木)