マイクロストラクチャー
設置場所:装置開発室
電子ビーム描画装置(設備ID:MS-103)
メーカー | (株)エリオニクス製 |
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型式 | ELS-G100 |
データ提供の可否 可の場合データ情報の内容を簡単に提供できるデータは加速電圧、ビーム電流、エリアドーズ(レジスト感度)になります。
主な仕様 | |
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最大加速電圧:100KV、最小ビーム径:1.8m、最小描画線幅:6nm |
支援形態/料金 | |||
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大学官公庁 | 協力研究 | なし | 成果公開 |
施設利用 | 無料 | ||
技術代行 | なし | ||
民間 | 施設利用 | 23,400円/時間 2023年12月26日改訂 |
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技術代行 | なし | ||
所内 | 施設利用 | 無料 | |
民間 | 施設利用 | 23,400円/時間 | 成果非公開 |
技術代行 | なし | ||
技術支援 | 技術開発 | 13,200円/時間 | 成果非公開 (成果公開の場合は 料金が1/2) |
設計製作 | 10,800円/時間 | ||
技術補助 | 5,600円/時間 |
■担当
山本浩史室長
近藤聖彦主任技師 [kondou@ims.ac.jp ]
高田紀子技術員[takada@ims.ac.jp]
木村幸代技術員 [s-kimura@ims.ac.jp ]
石川晶子技術支援員
0564-55-7493(高田、木村)
代表[ micro@ims.ac.jp ]
近藤聖彦主任技師 [kondou@ims.ac.jp ]
高田紀子技術員[takada@ims.ac.jp]
木村幸代技術員 [s-kimura@ims.ac.jp ]
石川晶子技術支援員
0564-55-7493(高田、木村)
代表[ micro@ims.ac.jp ]