高輝度で高い干渉性の電子線が得られるフィールドエミッション電子銃（FEG）を搭載した電子顕微鏡。ナノスケールオーダーの超高分解能の像観察や分析が可能。エネルギー分散型　X線分析装置（EDS）による微小部の元素分析、組成マップを測定が可能。STEM機能により走査透過像測定が可能。