マスクレス露光装置は、任意の形状をフォトマスクなしで直接描画する装置です。光源は405nmLEDで、露光範囲100㎜×100㎜、最少線幅1μmの描画が可能です。段差計は、150㎜までの領域でステッチングなしで測定ができます。その他にも、精密温湿度調整付きのイエロークリーンブースは、フォトリソグラフィーに関する一連の作業（基板洗浄、各種レジスト塗布、露光、現像、アッシング、エッチング）に利用できます。