3次元光学プロファイラーシステム（ZYGO Nexview）は、非接触で表面の3次元形状測定、表面粗さ測定を行う装置です。つなぎ合わせ機能により□46.5㎜範囲の3次元形状測定や、Ra0.1nm以下の超精密研磨面の測定、透明膜の厚さ測定(1μm以上)などができます。