電子顕微鏡

設置場所:機器センター 実験棟 B09

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低真空分析走査電子顕微鏡

メーカー 日立ハイテクノロジーズ、ブルカー・エイエックスエス
型 式 SU6600、QUANTAX XFlash 5060FQ+XFlash6|10 コンバインシステム
導入年度 平成25年度

幅広い試料に対する、SEM 観察と EDS 元素分析の環境を提供します。SEM 本体は、日立ハイテクノロジーズ社製 SU6600。10~300Pa の低真空観察に対応し、絶縁性試料を導電処理なしで観察可能です。分解能は、高真空 1.2nm(30kV)、低真空 3.0nm(30kV)。EDS 分析装置は、 BrukerAXS 社製 XFlash5060FQ 及び XFlash6|10。表面凹 凸の影ができにくく高感度な EDS 検出器を搭載しています。温度を-20~50°C程度で変えられるステージも利用可能ですので、ご相談下さい。

主な仕様

電子銃 Zr/Wショットキーエミッション形
加速電圧 0.5〜30 kV
照射電流 1 pA〜200 nA
倍率 10〜600,000 倍
像分解能 1.2 nm: 30 kV、高真空モード(< 10-3 Pa)
3.0 nm: 30 kV、低真空モード(60 Pa)
低真空範囲 最大直径2インチ
EDS 検出範囲 10〜300 Pa
試料サイズ 最大直径 150 mm
検出器 二次電子検出器、低真空用二次電子検出器、
反射電子検出器、透過電子検出器
試料温度制御 -20〜50 ℃(オプションのMK3形クールステージ装着時のみ)

支援形態/料金

大学官公庁 協力研究 成果公開
施設利用 無料
技術代行
民間 施設利用 3200円/時間
技術代行
所内 施設利用 無料
民間 施設利用 6400円/時間 成果非公開
技術代行
技術支援 なし

■担当

横山利彦センター長
石山修特任研究員 [ o-ishiyama@ims.ac.jp ]
上田正技術員
0564-55-7457(石山)