マイクロストラクチャー

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電子ビーム描画装置

メーカー (株)エリオニクス製
型式 ELS-G100

データ提供の可否 可の場合データ情報の内容を簡単に提供できるデータは加速電圧、ビーム電流、エリアドーズ(レジスト感度)になります。 

主な仕様

最大加速電圧:100KV、最小ビーム径:1.8m、最小描画線幅:6nm

支援形態/料金

大学官公庁 協力研究 成果公開
施設利用 無料
技術代行
民間 施設利用 11700円/時間
技術代行
所内 施設利用 無料
民間 施設利用 23400円/時間 成果非公開
技術代行
技術支援(1時間あたり) 技術開発 13200円 成果公開の場合は
料金が1/2
設計製作 10800円
技術補助 5600円

■担当

山本浩史室長
近藤聖彦主任技師 [kondou@ims.ac.jp ]
高田紀子技術員[takada@ims.ac.jp]
木村幸代技術員 [s-kimura@ims.ac.jp ]
石川晶子技術支援員
0564-55-7492(高田、木村)