電子分光

設置場所:実験棟216

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機能性材料バンド構造顕微分析システム

静電半球型アナライザーを用いた機能性材料の価電子バンド構造測定システム。ディフレクターを使用することで2次元波数空間マッピングを行うことが可能。薄膜作製用真空チェンバー、試料表面処理チェンバー(電子衝撃加熱、通電加熱、Ar+スパッタが可能)、電子線回折装置、劈開機構を利用することができるため、 様々な機能性材料の測定に対応。

主な仕様

光電子分光装置(光電子分析器、真空紫外光源、試料冷却機構、真空チェンバー)
光電子分析器 エネルギー分解能1meV以下
角度精度0.1度以下、空間分解能 10ミクロン以下
真空紫外光源 希ガス共鳴線(主として、21.218 eV, 40.814 eV)
試料冷却機能 温度範囲 8-300K
真空チェンバー 測定槽真空度7x10-9Pa以下

支援形態/料金

大学官公庁 協力研究 無料 成果公開
施設利用
技術代行
民間 施設利用 5600円/時間
技術代行
所内 施設利用 無料
民間 施設利用 11100円/時間 成果非公開
技術代行
技術支援 なし

■担当

解良聡教授
田中清尚准教授[k-tanaka@ims.ac.jp]
福谷圭祐助教
0564-55-7203