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3次元光学プロファイラーシステム (Nexview)

3次元光学プロファイラーシステム(ZYGO Nexview)は、非接触で表面の3次元形状測定、表面粗さ測定を行う装置です。つなぎ合わせ機能により□46.5㎜範囲の3次元形状測定や、Ra0.1nm以下の超精密研磨面の測定、透明膜の厚さ測定(1μm以上)などができます。X-Yステージ可動範囲200㎜×200㎜。Z軸可動範囲100㎜

主な仕様

精密温度調整機能付クリーンブース

支援形態/料金

大学官公庁 協力研究 成果公開
施設利用 無料
技術代行
民間 施設利用 4400円/時間
技術代行
所内 施設利用 消耗品実費
民間 施設利用 8700円/時間 成果非公開
技術代行
技術支援(1時間あたり) 技術開発 13200円 成果公開の場合は
料金が1/2
設計製作 10800円
技術補助 5600円

■担当

山本浩史室長
近藤聖彦主任技師 [ kondou@ims.ac.jp ]
菊地拓郎技術員 [t-kikuchi@ims.ac.jp ]
木村幸代技術員
0564-55-7213(菊地、近藤)
代表[ micro@ims.ac.jp ]